實(shí)驗(yàn)名稱：半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的封裝測(cè)試

　　研究方向：半掩埋光波導(dǎo)諧振腔耦合完成以后，為保護(hù)器件，防止灰塵等雜質(zhì)污染刻槽區(qū)域以及做實(shí)驗(yàn)過程中移動(dòng)器件可能帶來的耦合處接口松動(dòng)，需要對(duì)器件進(jìn)行封裝。

　　測(cè)試設(shè)備：高壓放大器、信號(hào)發(fā)生器、示波器、光電探測(cè)器、窄線寬半導(dǎo)體激光器等。

　　實(shí)驗(yàn)過程：

　　圖1：半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的測(cè)試系統(tǒng)圖

　　使用窄線寬半導(dǎo)體激光器進(jìn)行半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的性能測(cè)試。測(cè)試系統(tǒng)如圖1所示，主要包括：窄線寬半導(dǎo)體激光器、信號(hào)發(fā)生器、高壓放大器、半掩埋光波導(dǎo)諧振腔、光電探測(cè)器和示波器。窄線寬半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光波長(zhǎng)為1550nm，具有波長(zhǎng)調(diào)諧的功能。信號(hào)發(fā)生器用于產(chǎn)生對(duì)激光器波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)諧的掃描信號(hào)，高壓放大器用于對(duì)信號(hào)發(fā)生器輸出的掃描信號(hào)進(jìn)行增益和偏置的調(diào)節(jié)，以滿足諧振腔諧振頻率在激光器調(diào)諧范圍內(nèi)。信號(hào)發(fā)生器輸出給高壓放大器，高壓放大器輸出給激光器，激光器的波長(zhǎng)可調(diào)諧范圍為20pm。激光器發(fā)出的調(diào)諧波長(zhǎng)的光經(jīng)光纖進(jìn)入半掩埋光波導(dǎo)諧振腔，滿足諧振條件的波長(zhǎng)的光在諧振腔中諧振，半掩埋光波導(dǎo)諧振腔輸出的光進(jìn)入光電探測(cè)器中進(jìn)行光信號(hào)到電信號(hào)的轉(zhuǎn)換，然后顯示在示波器上。測(cè)試得到的半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的諧振曲線如圖2所示。

　　圖2：半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的測(cè)試曲線

　　實(shí)驗(yàn)結(jié)果：

　　圖2中黃色曲線為正弦波掃描曲線，紫色曲線為半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的諧振曲線。使用示波器的光標(biāo)工具可以進(jìn)行諧振曲線半高全寬的測(cè)量。圖4-8所示為半高全寬處所對(duì)應(yīng)的電壓差值，為43.19mV，根據(jù)激光器的調(diào)諧系數(shù)可以計(jì)算得出半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的半高全寬為64.79MHz。因此，半掩埋光波導(dǎo)諧振腔的品質(zhì)因子為2.99×106。

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　　圖：ATA-2082高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

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